Значение КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ в Современном толковом словаре, БСЭ
- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
-
разрушение поверхности твердого тела при бомбардировке ее ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей.
БСЭ. Современный толковый словарь, БСЭ. 2003