Значение КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ в Современном толковом словаре, БСЭ

КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

разрушение поверхности твердого тела при бомбардировке ее ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей.

БСЭ. Современный толковый словарь, БСЭ.