Значение КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ в Современном толковом словаре, БСЭ

разрушение поверхности твердого тела при бомбардировке ее ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей.