Значение КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ в Большом энциклопедическом словаре

КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

разрушение поверхности твердого тела при бомбардировке ее ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей.

Большой энциклопедический словарь.