КАТ́ОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, разрушение поверхности тв. тела при бомбардировке её ионами. Первонач. наблюдалось как разрушение катодов в эл.-вакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей.
Значение слова КАТОДНОЕ в Большом российском энциклопедическом словаре
Что такое КАТОДНОЕ
Большой российский энциклопедический словарь. 2012