Значение ИОННО-СОРБЦИОННЫЙ НАСОС в Большой советской энциклопедии, БСЭ

насос, вакуумный насос , в котором химически активные газы удаляются за счёт сорбции их геттерами , а инертные газы - в результате интенсивной ионизации в виде ионов под действием электрического поля. С помощью И.-с. н. достигают разрежения 10-7 н / м 2 (10-9 мм рт. ст .).