(ионная имплантация) , введение посторонних (примесных) атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его ионами; способ легирования полупроводников.
Значение ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ в Современном толковом словаре, БСЭ
Что такое ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ
БСЭ. Современный толковый словарь, БСЭ. 2003