(р. 1938)
российский ученый, член-корреспондент РАН (1991). Основные труды по созданию элементной базы приборов микроэлектроники, получению кристаллических пленочных материалов, разработке структур внутреннего раздела границ в пленочных системах.
(р. 1938)
российский ученый, член-корреспондент РАН (1991). Основные труды по созданию элементной базы приборов микроэлектроники, получению кристаллических пленочных материалов, разработке структур внутреннего раздела границ в пленочных системах.
Большой энциклопедический словарь. 2012