материалы, материалы, применяемые в вакуумных аппаратах и приборах. Основные требования, предъявляемые к В. м., - низкое давление пара при рабочих температурах и возможность лёгкого обезгаживания. В. м. для оболочек вакуумных приборов, кроме того, должны быть мало газопроницаемы. Давление пара, газоотделение и газопроницаемость В. м. - основные свойства, определяющие верхний предел достижимого вакуума и возможность его сохранения в течение продолжительного времени. Другие требования к В. м. определяются областью их применения (см. Вакуумная техника ). Например, материалы для вакуумных ламп должны обладать достаточной прочностью при высоких температурах и быть хорошими изоляторами или, наоборот, проводниками.
В. м. можно подразделить на следующие основные группы: конструкционные материалы, геттеры (газопоглотители), вакуумные масла и материалы, применяемые как рабочие жидкости насосов и вакуумметров (например, ртуть), замазки, смазки, лаки и цементы. Некоторые свойства важнейших конструкционных В. м. приведены в табл. 1-3.
Табл. 1 . - Неорганические конструкционные материалы
Материалы
Температура при давлении паров 1,3 мн/м'
( 10-5 мм рт. ст. ) , |С
Температурный коэфф. линейного расширения в интервале от 0 до 100|С (a107),|С-1
Температура плавления,
|С
Металлы
Алюминий
841
238
658
Вольфрам
2564
44
3410
Железо
1083
119
1535
Медь
934
165
1083
Молибден
1955
55
2625
Никель
856
133
1452
Палладий
1157
116
1554
Платина
1585
90
1773,5
Серебро
751
189
960,5
Тантал
2402
65
2996
Титан (иодидный)
1336
81(20-200|C)
1725
Цирконий (иодидный)
1836
54(20-200|C)
1845
Сплавы
Латунь Л-68
-
184
938
Монель
-
137
1250
Нихром
-
125
1400
Фернико (ковар)
-
45-55 (20-300|C)
1450
Сталь нержавеющая
1Х18Н9 (ЭЯ-1)
-
160
1400
1Х18Н9Т (ЭЯ-1Т)
-
160
1450
Различные материалы
Электрографит
2129
8-18 (продоль
3800-3900
Слюда (мусковит)
-
ный) 30
1300
Кварц плавленый
-
5
1700
Стекло
-
30-120
-
Керамика
Глинозёмистая
Магнезиальная
-
-
46-70 (20-100|C)
70-80 (20-100|C)
2000
1600
Табл. 2.-Органические конструкционные материалы
Материал
Скорость газоотделения при t 20|С
Коэффициент газопроницаемости при t 20|С
м3м
секм2 н/м
cм3 см
сексм2 кгс/см2
нм/ ( м2сек ) лмм рт. ст. 10-3
сек см2
гелий
азот
гелий
азот
Резина на основе натурального каучука НК
(5-8) 10-6
(4-6)10-6
1,310-16
2,310-17
1,310-7
2,3 10-8
Резина на основе синтетического нитрильного каучука СКН-26
(3-4) 10-5
(2-3)10-5
5,210-17
2,510-18
5,210-8
2,510-9
Резина на основе синтетического нитрильного каучука СКН-40
(3-4) 10-5
(2-3)10-5
3,610-12
3,910-18
3,610-8
3,910-9
Резина на основе поливинилсилоксанового каучука СКТВ-1
(1-3) 10-5
(1-2)10-5 (250|С)
-
2,010-15 (25|С)
-
2.010-6 (25|C)
Фторопласт-4
(4-7) 10-7
(3-5)10-7 (150-250|С)
2,310-16
8,410-18
2,310-7
8,410-9
Полиэтилен
(7-13) 10-7
(5-10)10-7
2,510-17
2,510-18
2,510-8
2,510-9
Полиэтилентерефталат
(3-7) 10-8
(2-5)10-8
7,210-18
2,710-20
7,210-9
2,710-11
Эпоксидная смола ЭД-5, отверждённая по-лиэтиленполиамином
(3-7) 10-4
(2-5)10-4 (60|С)
1,010-17
-
1,010-8
-
Табл. 3.-Вакуумны е смазки, замазки, лаки и цементы
Материал
Давление паров при
t 20|С
tпл,|С
Макс. рабочая темп-ра, |С
Назначение
н/м2
мм рт. ст.
Смазки
Высоковакуумная
10-4
10-6
-40 до +200|
Уплотнение кранов и пришлифованных соединений
Лубрисил
10-3
10-5
40
То же
Рамзая
10-2
10-4
30
'
Апиезон
10-1
10-3 при 200|С
43
30
'
'
10-8
10-10
47
-
Пришлифовка соединений с тугой посадкой
Замазки
Пицеин
10-5
10-7
40
Уплотнение стеклянных и металлич. шлифов
Денисона
10-3
10-5
60
Смесь пчелиного воска с каучуком
10-1-10-2
10-3-10-4
60
-
Апиезон
10-1
10-3
45; 85
-
Уплотнение постоянных соединений
Менделеева
-
-
-
50
Цемент Хотинского
10-1
10-3
40
Для цоколёвки ламп
Глипталевый лак
3-10-2
2.10-4
200
Заделка царапин, покрытие поверхностей
Металлы идут на изготовление корпусов, насосов, вентилей, оболочек, электродов, газопоглотителей. Стекло - основной материал для колб, трубок, ламп и т.п. Из синтетических материалов (полиэтилен, политерафторэтилен, полиамид и др.) и резины изготовляют трубки, прокладки и т.п. Вакуумные смазки и замазки служат для уплотнения разъёмных и постоянных соединений. Лаки применяют для заделки царапин, покрытия поверхностей, цементы - для цоколёвки ламп.
Лит.: Балицкий А. В., Технология изготовления вакуумной аппаратуры, 2 изд., М. - Л., 1966; Лебединский М. А., Электровакуумные материалы, 2 изд., М. - Л., 1966.
Е. Н. Мартинсон, Е. Г. Плещенко.