определение химического состава микрообъемов или тонких слоев твердых тел. Проводят методами электронной микроскопии (в сочетании с рентгеновским спектральным анализом), электронографии, масс-спектрометрии вторичных ионов и др.
Значение ЛОКАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ в Большом энциклопедическом словаре
Что такое ЛОКАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ
Большой энциклопедический словарь. 2012