Значение слова ПЛАНАРНАЯ в Большом российском энциклопедическом словаре

ПЛАН́АРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ (от англ. рlanar - плоский), высокопроизводит. метод группового изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Осн. операции П. т.: создание тонкой диэлектрич. плёнки на поверхности кристаллич. полупроводника (Si, Ge, GaAs); удаление способом фотолитографии или электронолитографии определ. участков этой плёнки; введение в кристалл через не защищённые плёнкой участки донорных или акцепторных примесей (легирование). В результате этих операций в кристалле образуются области с электронно-дырочными переходами.