Значение слова ФОТОРЕЗИСТ в Большой советской энциклопедии, БСЭ

ФОТОРЕЗИСТ

(от фото... и англ. resist v сопротивляться, препятствовать), полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой. Ф. используются в полупроводниковой электронике и микроэлектронике (см., например, Планарная технология ) для получения на пластине 'окон' заданной конфигурации, открывающих доступ к ней травителя. В результате экспонирования Ф. через наложенный на него стеклянный шаблон нужного рисунка ультрафиолетовым излучением (иногда электронным лучом) свойства его меняются: либо растворимость Ф. резко уменьшается (негативный Ф.), либо он разрушается и становится легко удалимым (позитивный Ф.). Последующая обработка растворителем образует в Ф. 'окна' на необлучённых участках негативного Ф. или облученных участках позитивного Ф. Типичные Ф.: негативные v слои поливинилового спирта с солями хромовых кислот или эфирами коричной кислоты , слои циклизованного каучука с добавками, вызывающими 'сшивание' макромолекул под действием света; позитивные v феноло- или крезолоформальдегидная смола с о -нафтохинондиазидом. См. также Фотолитография .

Лит.: Фотолитография и оптика, М. v Берлин, 1974; Мазель Е. З., Пресс Ф. П., Планарная технология кремниевых приборов, М., 1974.

Большая советская энциклопедия, БСЭ.