Значение ПЛАНАРНЫЙ ПРОЦЕСС в Большой советской энциклопедии, БСЭ ПЛАНАРНЫЙ ПРОЦЕСС процесс, совокупность технологических операций, более точно характеризуемая термином планарная технология . Большая советская энциклопедия, БСЭ. 2012 Словари → Энциклопедические словари → Большая советская энциклопедия, БСЭ