(от эпи … и греч. taxis - расположение), ориентированный рост одного монокристалла на поверхности другого (подложки). Вещества могут быть одинаковы (гомоэпитаксия, или автоэпитаксия) или различны (гетероэпитаксия). Эпитаксия определяется условием сопряжения кристаллических решеток кристалла и подложки.
Значение слова ЭПИТАКСИЯ в Современном толковом словаре, БСЭ
Что такое ЭПИТАКСИЯ
БСЭ. Современный толковый словарь, БСЭ. 2003