вакуумный насос, действие которого основано на сорбции или конденсации газа на рабочую поверхность, охлажденную до сверхнизких температур (ниже 0,5 К). Разрежение до 0,1 нПа.
Значение КРИОГЕННЫЙ НАСОС в Большом энциклопедическом словаре
Что такое КРИОГЕННЫЙ НАСОС
Большой энциклопедический словарь. 2012