Значение слова ХИМИЧЕСКОЕ в Большом российском энциклопедическом словаре

ХИМ́ИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, получение твёрдых в-в с помощью хим. реакций, в к-рых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллич. плёнок (напр., в планарной технологии), нитевидных монокристаллов ("усов"), барьерных слоёв (предотвращающих разрушение покрытий на соплах ракет), при изготовлении разл. изделий сложной конфигурации и др.