Значение слова ФОТОЛИТОГРАФИЯ в Большом российском энциклопедическом словаре

ФОТОЛИТОГР́АФИЯ, литография с использованием печатной формы, созданной на поверхности литографского камня посредством фотокопирования; оттиск, полученный с такой формы. Ф. в планарной технологии - способ образования на поверхности полупроводн. кристалла (подложки) маски с "окнами" определ. форм и размеров для последующего формирования элементов интегральных схем и др. электронных приборов. Осуществляется фотокопированием изображения маски на слой фоторезиста (покрывающий кристалл), к-рый после соотв. хим. обработки (вскрытия "окон") становится такой маской.