вакуум-... - первая часть сложных слов, пишется через дефис; но: вакуумметр
Значение ВАКУУМ-... - ПЕРВАЯ ЧАСТЬ СЛОЖНЫХ СЛОВ в Полном орфографическом словаре русского языка
Что такое ВАКУУМ-... - ПЕРВАЯ ЧАСТЬ СЛОЖНЫХ СЛОВ
Полный орфографический словарь русского языка. 2012