Значение ИОННАЯ ОТКАЧКА в Современном толковом словаре, БСЭ
- ИОННАЯ ОТКАЧКА
-
способ получения вакуума, основанный на ионизации откачиваемого газа и перемещении ионов электрическим полем в область, где они нейтрализуются и удаляются (поглощаются).
БСЭ. Современный толковый словарь, БСЭ. 2003