1) отношение действительной быстроты откачки вакуумного насоса к её предельному теоретическому значению (В. часто называют коэффициентом Хо, по фамилии японского учёного, который ввёл понятие В.). 2) Малоупотребительный термин, обозначающий отношение ионного тока многоэлектродной электронной лампы к её электронному току, служащее мерой давления остаточного газа в лампе.
Значение слова ВАКУУМФАКТОР в Большой советской энциклопедии, БСЭ
Что такое ВАКУУМФАКТОР
Большая советская энциклопедия, БСЭ. 2012